百晓学者
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谭
谭波
助理研究员、讲师,华中科技大学
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精选作品
期刊论文
PVD-AlN
2019
基于PVD-AlN缓冲层的AlN和AlGaN薄膜MOCVD外延生长研究
谭波
《华中科技大学》
AlGaN
2018
AlGaN基日盲紫外探测器外延关键技术
谭波
,何炬,陈景文,单茂诚,戴江南,陈长清
《功能材料与器件学报》
研究方向
原子层沉积
磁控溅射
化学气相沉积等薄膜沉积技术
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