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周维虎

中国科学院微电子研究所

个人简介

周维虎,中国科学院微电子研究所副研究员,研究方向为光学精密测量、微纳检测、飞秒激光技术;承担国家重点研发计划项目“超分辨扫描显微检测仪”课题、“空间微孔三维形貌非接触扫描测量仪”子课题等;任第四届全国光电测量标准化技术委员会副主任委员;青年编委;中国光学工程学会光电测试测量技术及应用专业委员会委员。

精选作品

期刊论文

  1. 潘映伶,纪荣祎,董登峰,李佳蒙,周维虎(2026). 调幅扫频激光测距同相频率鉴频方法. 《中国光学(中英文)》.
  2. 王国名,霍汉林,董登峰,张刘港,周维虎(2026). 基于单目视觉的正交轴系结构误差复合测量方法. 《激光与光电子学进展》.
  3. 刘彤,李洋,郝灿,周维虎,崔培玲,董登峰(2026). 基于多特征相似性的点云离群噪声去除方法. 《光学精密工程》.
  4. 赵天元,董登峰,周维虎,王国名(2026). Micro LED可见光与光致发光图像亚像素快速配准. 《中国光学(中英文)》.
  5. 朱志忠,王正,肖子行,董登峰,甄雪芝,周维虎(2026). 基于四波混频的调频连续波测距振动抑制方法. 《物理学报》.
  6. Le Zhao, Genzi Li, Weihu Zhou, Yi Tang, Jianhong Yang, Zhiwen Chen, Kanghua Pan, Zhe Li, J. Zhang, Liguo CHEN, Gaowei Xu, Zhihua Li (2026). On standardization of MEMS packaging and testing.DOI
  7. Zhishen Wang, Guoliang Xie, G Xu, Genzi Li, Weihu Zhou, Dongzhi Fu, Lingde Kong, Zhiwen Chen, S Liu (2026). An Investigation into the Footing Profile Suppression in (110) Si Anisotropic Etching. Micromachines.DOI
  8. Tengyan Xi, Ping Wang, Yan Shi, Yuan Zhang, Weihu Zhou (2026). Thermal Saliency-Based Spatial Weighting With Nonlinear Enhancement for Principal Component Thermography in ECPT. IEEE Transactions on Industrial Informatics.DOI
  9. 黄云鹏,李洋,邱启帆,董登峰,高豆豆,姜行健,崔成君,周维虎(2025). 基于惯性-视觉融合姿态解算的隐藏点坐标测量. 《光学精密工程》.
  10. 程智,董登峰,李洋,邱启帆,王建国,霍汉林,黄云鹏,周维虎(2025). 激光跟踪仪主动对准式复合传感高精度姿态测量. 《光学精密工程》.
  11. 赵天元,董登峰,王国名,王博,周维虎(2025). Micro LED表面缺陷的快速高精度检测. 《光学精密工程》.
  12. 程智,邱启帆,李洋,王国名,张佳,董登峰,周维虎,张滋黎(2025). 激光跟踪仪主动对准靶标定位误差补偿方法研究. 《红外与激光工程》.
  13. 熊芝,钟陈小鹏,张昊,贾小东,郭政南,赵子越,翟中生,周维虎(2025). 基于多位姿标靶的激光跟踪姿态测量系统参数标定. 《光学精密工程》.
  14. Runmin Li, Haochen Tian, Dengfeng Dong, Yige Lin, Weihu Zhou (2025). Thermal Effect of Acousto-Optic Frequency Shifter and Its Impact on Optical Metrology. IEEE Photonics Technology Letters.DOI
  15. Tengyan Xi, Ping Wang, Yan Shi, Chunlian Zhan, Weihu Zhou (2025). Characterization and Quantitative Evaluation of Surface Cracks on Steel Plates Based on Eddy Current Pulsed Thermography. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement.DOI
  16. Yixin Ma, Weihu Zhou, Zi-Li Zhang, Deng-Feng Dong, Yanhui Kang, Bai-Xing Fan, Fan-Chang Meng, Shan Wang, Yang Li, Jihu Wang (2025). Unified least squares adjustment of laser tracker network measurement. Measurement.DOI
  17. 邱启帆,程智,高豆豆,董登峰,周维虎(2024). 基于准直激光的跟踪合作目标小范围二维姿态测量方法研究. 《仪器仪表学报》.DOI
  18. 石俊凯,陈晓梅,万宇,霍树春,姜行健,李冠楠,周维虎(2024). 基于栅格节距中心峰值检测的扫描探针显微镜校准方法. 《计测技术》.
  19. 王珊,张滋黎,董登峰,周维虎,纪荣祎,潘映伶,王国名,崔成君(2024). 激光跟踪仪几何结构误差标定及修正. 《光学精密工程》.
  20. 霍汉林,王劲松,王国名,李根梓,周维虎(2024). 二维激光跟踪转台轴系设计及动态形变误差修正. 《光学精密工程》.
  21. 王铜,周维虎,董岚,梁静,马娜,何振强,柯志勇,罗涛,门玲鸰,王小龙,李波,卢尚,闫路平,韩圆颖(2024). 粒子加速器中激光跟踪仪控制网测量精度研究. 《武汉大学学报(信息科学版)》.
  22. 刘浩,王劲松,石俊凯,李冠楠,陈晓梅,周维虎(2024). 基于过焦扫描光学显微术的套刻误差检测方法研究. 《光学学报》.
  23. Shuyan Yan, Junkai Shi, Guannan Li, Can Hao, Ying Wang, Hao Yu, Weihu Zhou (2024). Advances in Aeroengine Cooling Hole Measurement: A Comprehensive Review. Sensors.DOI
  24. Zhi Xiong, Jiale Dong, Chenxiaopeng zhong, Luke Chang, Wei Deng, Zhongsheng Zhai, Dengfeng Dong, Weihu Zhou (2024). Laser tracking attitude dynamic measurement based on vision and inertial navigation. Seventh International Symposium on Precision Mechanical Measurements.DOI
  25. Dezhao Wang, Weihu Zhou, Zili Zhang, Fanchang Meng, Chao Gao (2024). Focal plane coincidence method for a multi-view telecentric 3D imaging system. Optics Letters.DOI
  26. Yingling Pan, Rongyi Ji, Ziqi Xie, Meng Gao, Dengfeng Dong, Weihu Zhou, Guicun Li (2024). Optimization of under-sampling phase detection accuracy in phase laser ranging. Applied Optics.DOI
  27. Hua Zhuo, Yan Xu, Weihu Zhou, Feng Li, Yi-Kun Zhao (2024). Design of Calibration System for Multi-Channel Thermostatic Metal Bath. Measurement Science Review.DOI
  28. Hua Zhuo, Wen-Yan Xue, Weihu Zhou, Guangcheng Jia, Lifang Yao, xiaying zhou (2024). Precision uncertainty analysis and correction of thru-reflect-match calibration technology in vector network analyzer measurement. International Conference on Testing Technology and Automation Engineering.DOI
  29. Yixin Ma, Weihu Zhou, Zi-Li Zhang, Deng-Feng Dong, Xiaoyan Shen, Fan-Chang Meng, Yang Li, Shan Wang (2024). Robust estimation method for raw observations from laser tracker. AIP Advances.DOI
  30. Na Wang, Weihu Zhou, Xiao-Jiao Song, De-Zhao Wang, Li-Tuo Liu (2024). Research on the DF-TSOM method for detecting subsurface defects of optical components. Optics Express.DOI
  31. De-Zhao Wang, Weihu Zhou, Zi-Li Zhang, Fan-Chang Meng (2024). Hybrid Bright-Dark-Field Microscopic Fringe Projection System for Cu Pillar Height Measurement in Wafer-Level Package. Italian National Conference on Sensors.DOI
  32. 苏铮,邢志鹏,郝灿,李洋,袁江,周维虎(2023). 高端仪器仪表主要产品对外依存度分析. 《中国仪器仪表》.
  33. 邱启帆,王博,张佳,董登峰,周维虎(2023). 面向激光跟踪仪跟踪恢复的伺服运动角度计算方法. 《仪器仪表学报》.DOI
  34. 孟语璇,董登峰,周维虎,纪荣祎,朱志忠(2023). 高频相位激光测距系统的高精度鉴相. 《光学精密工程》.
  35. 潘映伶,纪荣祎,祁勤,高萌,周维虎(2023). 高速高精度实时相位式激光测距系统. 《光学精密工程》.
  36. 王娜,刘立拓,宋晓娇,王德钊,王盛阳,李冠楠,周维虎(2023). 基于过焦扫描光学显微镜的光学元件亚表面缺陷检测方法. 《光学学报》.
  37. 高超,周维虎,高书苑,纪荣祎,潘映伶(2023). 基于改进MLS算法的偏振调制激光测距方法实现. 《中国激光》.
  38. 朱雅庆,纪荣祎,董登峰,周维虎(2023). 欠采样全相位FFT鉴相方法仿真与实现. 《红外与激光工程》.
  39. 石俊凯,李冠楠,霍树春,姜行健,陈晓梅,周维虎(2023). 过焦扫描光学显微测量技术综述. 《计测技术》.
  40. 周维虎(2023). 光学微纳检测技术专辑. 《计测技术》.
  41. Dezhao Wang, Weihu Zhou, zili Zhang, Yanhui Kang, Fanchang Meng, Na Wang (2023). Anti-crosstalk absolute phase retrieval method for microscopic fringe projection profilometry using temporal frequency-division multiplexing. Optics Express.DOI
  42. Tianci Feng, Chengjun Cui, Jianli Li, Weihu Zhou, Dong Dengfeng, zili Zhang, Guoming Wnag, Qifan Qiu, Shan Wang (2023). High-velocity measurement method in dual-frequency laser interference tracker based on beam expander and acousto-optic modulator. Optics Express.DOI
  43. De-Zhao Wang, Weihu Zhou, Zi-Li Zhang, Fan-Chang Meng, Na Wang (2023). Flexible continuous phase shifts method for binary defocusing technique with short pitch fringes. Other Conferences.DOI
  44. Na Wang, Li-Tuo Liu, Gen-Zi Li, Xiao-Jiao Song, De-Zhao Wang, Guan-Nan Li, Weihu Zhou (2023). Research on TSOM detection method for subsurface defects of optical components. Other Conferences.DOI
  45. 伍楚奇,熊芝,许航,翟中生,周维虎(2022). 基于视觉正交迭代法改进的激光跟踪姿态测量. 《仪器仪表学报》.DOI
  46. 刘宁桐,熊芝,何静,翟中生,周维虎(2022). 基于空间距离约束的姿态角现场精度评定方法. 《仪器仪表学报》.DOI
  47. 夏志鹏,熊芝,陈海林,周维虎,翟中生(2022). 自动检测平台精确引导系统标定方法及实现. 《仪表技术与传感器》.
  48. 李洋,王国名,王颖,程智,周维虎,董登峰(2022). 面向机器视觉测量的液体透镜调焦系统标定方法. 《红外与激光工程》.
  49. 熊芝,夏志鹏,陈海林,周维虎,翟中生(2022). 核反应堆容器检测平台精确定位方法. 《现代电子技术》.
  50. 李冠楠,石俊凯,陈晓梅,高超,姜行健,崔成君,朱强,霍树春,周维虎(2022). 基于机器学习的过焦扫描显微测量方法研究. 《中国光学(中英文)》.
  51. 朱强,周维虎,陈晓梅,石俊凯,李冠楠(2022). 高速实时近红外弱信号检测系统. 《光学精密工程》.
  52. 周道德,高豆豆,董登峰,周维虎,崔成君(2022). 基于深度学习和PnP模型的激光跟踪仪自动姿态测量. 《光学精密工程》.
  53. 高超,纪荣祎,高书苑,董登峰,周维虎(2022). 波导式偏振调制测距系统. 《光学精密工程》.
  54. 王梓,石俊凯,陈晓梅,姜行健,李冠楠,霍树春,高超,朱强,周维虎(2022). 光谱共焦测量技术综述. 《半导体光电》.
  55. 王国名,郝灿,石俊凯,高超,王博,周维虎,高豆豆(2022). 基于深度学习的合作目标靶球检测. 《计测技术》.
  56. 朱强,周维虎,陈晓梅,李冠楠,石俊凯(2022). 复杂衬底下的涂层厚度定量检测方法研究. 《红外与激光工程》.
  57. 熊芝,许航,张刘港,郭志豪,伍楚奇,冯维,翟中生,周维虎,董登峰(2022). 基于加权加速正交迭代算法的相机位姿估计. 《红外与激光工程》.
  58. 许航,熊芝,张刘港,冯维,翟中生,周维虎,董登峰(2022). 基于加权最小二乘的激光跟踪姿态角测量方法. 《红外与激光工程》.
  59. 潘映伶,纪荣祎,高超,周维虎(2022). 矢量内积法高速相位式激光测距技术. 《红外与激光工程》.
  60. 周培松,周维虎,董登峰,敖俊姣,梅东滨(2022). 国产激光跟踪仪在工业机器人校准中的应用. 《中国新技术新产品》.
  61. 李洋,程智,周维虎,高超,董登峰(2021). 面向工业复杂场景的合作靶标椭圆特征快速鲁棒检测. 《光学精密工程》.
  62. 高兴华,董登峰,王博,周维虎(2021). 芯片级原子钟核心器件识别与位姿测量. 《半导体光电》.DOI
  63. 石俊凯,董登峰,潘映伶,李冠楠,黎尧,刘立拓,陈晓梅,周维虎 (2021). Suppression of multi-pulse formation in all-polarization-maintaining figure-9 erbium-doped fiber mode-locked laser. Chinese Physics B.
  64. 王博,董登峰,高兴华,周维虎(2021). 基于主动红外视觉探测的激光跟踪仪目标跟踪恢复方法. 《红外与激光工程》.
  65. 张刘港,熊芝,冯维,周维虎,董登峰(2020). 基于视觉与激光准直的激光跟踪姿态角测量方法. 《仪器仪表学报》.DOI
  66. 杨楠卓,欧阳名钊,周维虎,陈晓梅(2020). 基于光谱反射技术的梯形刻面MEMS高深宽比沟槽深度测量仿真分析. 《长春理工大学学报(自然科学版)》.
  67. 蔡超,刘文波,郑祥爱,孟繁昌,张滋黎,周维虎,李亚杰(2020). 基于多尺度分析的快速相位立体匹配. 《半导体光电》.DOI
  68. 李冠楠,刘立拓,周维虎,石俊凯,陈晓梅(2020). 缺陷对极紫外掩模多层结构反射场的扰动研究. 《半导体光电》.DOI
  69. 王博,董登峰,周维虎,高豆豆(2020). 面向激光跟踪仪跟踪恢复的合作目标视觉检测. 《光学精密工程》.
  70. 高书苑,黎尧,纪荣祎,石俊凯,胡哲文,周维虎(2019). 偏振调制测距系统频率漂移误差及其补偿. 《光学精密工程》.
  71. 曹院,董登峰,许桢英,周维虎,何洋(2019). 球载观测系统的无线图像传输系统设计. 《电子科技》.
  72. 张艳,张滋黎,燕必希,孟繁昌,郝灿,马翔宇,周维虎(2019). 天线型面自动测量系统设计. 《激光杂志》.DOI
  73. 劳达宝,崔成君,王国民,周维虎(2019). 飞秒激光跟踪仪跟踪光路的优化设计与分析. 《中国激光》.
  74. 石俊凯,王国名,纪荣祎,周维虎(2019). 结构紧凑的双波长连续波掺铒光纤激光器. 《中国光学(中英文)》.
  75. 张慧娟,熊芝,劳达宝,周维虎(2019). 基于EPNP算法的单目视觉测量系统研究. 《红外与激光工程》.
  76. 劳达宝,张慧娟,熊芝,周维虎(2019). 基于单目视觉的姿态自动测量方法. 《光子学报》.
  77. 劳达宝,王国名,崔成君,李维,何洋,周维虎(2018). 精密光电小角度测量技术研究. 《仪器仪表学报》.DOI
  78. 江炜,周维虎,劳达宝,姜行健,王国名,张文颖(2018). 多光栅测角系统精密转台轴系设计. 《仪表技术与传感器》.
  79. 张文颖,劳达宝,周维虎,朱浩然(2018). 圆光栅测角传感器在线自校准系统研制与实验. 《红外与激光工程》.
  80. 纪荣祎,张新鑫,高书苑,石俊凯,周维虎(2018). 基于LabVIEW的偏振调制激光测距测量控制系统. 《测控技术》.DOI
  81. 周维虎,石俊凯,纪荣祎,黎尧,刘娅(2017). 飞秒激光频率梳精密测距技术综述. 《仪器仪表学报》.DOI
  82. 胡坤,黎尧,纪荣祎,周维虎,刘德明(2015). 新型飞秒激光跟踪仪中飞秒激光测距研究. 《仪表技术与传感器》.
  83. 胡明庆,韩晓泉,周翊,冯泽斌,周维虎,白路军(2015). 准分子激光器温度控制系统设计. 《量子电子学报》.
  84. 林心龙,周维虎,劳达宝(2015). 激光跟踪仪精密跟踪转台轴系优化设计. 《仪表技术与传感器》.
  85. 胡坤,林心龙,黎尧,纪荣祎,周维虎(2015). 基于定点DSP的CORDIC算法研究. 《微电子学与计算机》.DOI
  86. 王博,郭阳宽,周维虎,董登峰(2012). 基于FPGA的圆光栅编码器数据采集系统设计. 《网络安全与数据治理》.
  87. 周维虎,费业泰,李百源,丁叔丹(2002). 激光跟踪仪几何误差修正. 《仪器仪表学报》.
  88. De-Zhao Wang, Weihu Zhou, Zi-Li Zhang, Yanhui Kang, Xiaoyan Sheng, Fan-Chang Meng, Na Wang. High-resolution microscopic fringe projection profilometry using Nyquist frequency fringe. Measurement.DOI

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