刘世元｜华中科技大学｜学者主页

期刊论文

2026

基于正交偏振散射图与ConvNeXt的套刻误差测量方法（特邀）

陈侃，王威，刘佳敏，陈浩锋，江浩，刘世元

《激光与光电子学进展》

2026

基于调制照明的高动态范围在线缺陷检测方法

赵翔宇，李明宇，王健，刘世元，董正琼，聂磊，朱金龙

《激光与光电子学进展》

2026

联合GI-SAXS和GT-SAXS的纳米结构关键尺寸测量方法（特邀）

张思宇，陈修国，张家豪，邓定选，钟海硕，刘世元

《光学学报(网络版)》

2026

穆勒矩阵偏振仪与椭偏仪：测量原理与校准方法（特邀）

陈修国，胡静，陈文龙，岳航，刘世元

《激光与光电子学进展》

2026

超微光斑角分辨偏振散射仪原位校准方法

王威，刘佳敏，崔雪，江浩，刘世元

《计测技术》

2026

Editorial: Special Issue on ISMTII&ICOIM 2025

Jinlong Zhu, Shiyuan Liu, Shuming Yang, Wenhan Zeng

IEEE Photonics Technology Letters

DOI

2026

Tensorized Quantum Genetic Algorithm With Selective Evolution Strategy for Thin‐Film Optical Inverse Problems

Shuo Liu, Shuo Liu, Xiuguo Chen, Shiyuan Liu, Shiyuan Liu

Laser & Photonics Review

DOI

2025

基于并行互相关的叠层衍射成像扫描位置误差校正方法

钟磊，刘力，杜锦祥，谷洪刚，刘世元

《激光与光电子学进展》

2025

Single-shot wavefront sensing enabled by a photonic integrated circuit

Wenyu Chen, Zixin Zhao, Shiyuan Liu, Jinlong Zhu, Liang Gao, Jinlong Zhu

Advanced Photonics Nexus

DOI

2025

Epi‐Illumination Spatio‐Temporal Scanning Interference Microscopy for 3D Topography Measurement With an Unlimited Field‐of‐View

Hang Zhao, Zedi Li, WU Qizhe, Jian Wang, Hui Deng, Shiyuan Liu, Jinlong Zhu

Laser & Photonics Review

DOI

2024

极大似然噪声估计的高动态范围叠层衍射成像术

李文杰，谷洪刚，刘力，钟磊，周玉，刘世元

《激光与光电子学进展》

2023

基于改进Yolov5s的光刻热点检测算法

吴清岳，刘佳敏，张松，江浩，刘世元

《激光与光电子学进展》

2023

先进节点图案化晶圆缺陷检测技术

刘佳敏，赵杭，吴启哲，冯献瑞，赵翔宇，张震阳，张楚苗，黄弢，朱金龙，刘世元

《激光与光电子学进展》

2023

“超精密测量技术”专题前言

谭久彬，刘世元，赵维谦，居冰峰

《激光与光电子学进展》

2022

集成电路制造在线光学测量检测技术：现状、挑战与发展趋势

陈修国，王才，杨天娟，刘佳敏，罗成峰，刘世元

《激光与光电子学进展》

2020

先进光谱椭偏测量技术及其在OLED中的应用

谷洪刚，柯贤华，丁可，赵雪楠，李先杰，刘世元

《微纳电子与智能制造》

DOI

2019

PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

郭春付，张传维，李伟奇，李晓平，刘世元

《激光技术》

2014

基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量

陈修国，刘世元，张传维，吴懿平，马智超，孙堂友，徐智谋

《物理学报》

2010

基于声光偏频法的激光频率无调制锁定

李志全，陈曦，朱国芳，高天野，闫聚兵，刘世元

《光电工程》

2010

微/纳结构三维形貌高精度测试系统

谢勇君，史铁林，刘世元

《光电工程》

2008

基于干涉显微原理的表面形貌测量系统

王海珊，史铁林，廖广兰，刘世元，张文栋

《光电工程》

2007

基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究

尹作海，刘世元，史铁林

《半导体技术》

2006

深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法研究

刘世元，吴小健

《光学学报》

2006

步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法研究

刘世元，吴小健

《光学学报》

会议论文

2018

层析穆勒矩阵散射仪研制及纳米结构测量应用

陈超，陈修国，刘世元

《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》

2018

分束器表征与高速斯托克斯偏振仪校准方法研究

张松，江浩，刘世元

《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》

2018

椭偏测量仪器研制与应用研究新进展

江浩，刘世元

《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》

2018

基于椭偏与反射率测量的超薄膜光学常数与厚度表征方法

刘佳敏，张林，江浩，刘世元

《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》

2017

基于穆勒矩阵椭偏仪的石墨烯和高定向热解石墨光学特性研究

宋宝坤，谷洪刚，江浩，张传维，陈修国，刘世元

《第一届全国功能薄膜与涂层学术研讨会暨国际论坛》

刘世元

精选作品

期刊论文

基于正交偏振散射图与ConvNeXt的套刻误差测量方法（特邀）

基于调制照明的高动态范围在线缺陷检测方法

联合GI-SAXS和GT-SAXS的纳米结构关键尺寸测量方法（特邀）

穆勒矩阵偏振仪与椭偏仪：测量原理与校准方法（特邀）

超微光斑角分辨偏振散射仪原位校准方法

Editorial: Special Issue on ISMTII&ICOIM 2025

Tensorized Quantum Genetic Algorithm With Selective Evolution Strategy for Thin‐Film Optical Inverse Problems

基于并行互相关的叠层衍射成像扫描位置误差校正方法

Single-shot wavefront sensing enabled by a photonic integrated circuit

Epi‐Illumination Spatio‐Temporal Scanning Interference Microscopy for 3D Topography Measurement With an Unlimited Field‐of‐View

极大似然噪声估计的高动态范围叠层衍射成像术

基于改进Yolov5s的光刻热点检测算法

先进节点图案化晶圆缺陷检测技术

“超精密测量技术”专题前言

集成电路制造在线光学测量检测技术：现状、挑战与发展趋势

先进光谱椭偏测量技术及其在OLED中的应用

PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量

基于声光偏频法的激光频率无调制锁定

微/纳结构三维形貌高精度测试系统

基于干涉显微原理的表面形貌测量系统

基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究

深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法研究

步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法研究

会议论文

层析穆勒矩阵散射仪研制及纳米结构测量应用

分束器表征与高速斯托克斯偏振仪校准方法研究

椭偏测量仪器研制与应用研究新进展

基于椭偏与反射率测量的超薄膜光学常数与厚度表征方法

基于穆勒矩阵椭偏仪的石墨烯和高定向热解石墨光学特性研究

研究方向