百晓学者
学者目录
孙
孙薇
讲师，北华航天工业学院
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精选作品
期刊论文
磨料
2008
磨料和H2O2对InSb CMP效果影响的研究
张伟，刘玉岭，
孙薇
，唐文栋，宗思邈，李咸珍，侯丽辉
《半导体技术》
ULSI
多层
2008
ULSI多层Cu布线CMP中磨料的研究
孙薇
，刘玉岭，张伟，时慧玲，侯丽辉
《半导体技术》
抛光液
组成
2008
抛光液组成对LiNbO3CMP去除速率的影响
侯丽辉，刘玉岭，王胜利，
孙薇
，时慧玲，张伟
《半导体技术》
研究方向
集成电路制造工艺技术
传感器技术
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