马志斌｜武汉工程大学｜学者主页

2025

基于双参数调控等离子体策略制备金刚石的光谱研究

曹为，高登，张昊，张宇，黄戈豪，马志斌

《光学学报》

2025

金刚石NV色心量子传感器的制备及其在电力系统中的应用（特邀）

罗文博，付秋明，王戈明，吴启瑞，马志斌，赵洪阳，贾婷婷，王世奥，刘文舒，王鸣鹤，朱子蕴，程振祥

《中国激光》

2024

基于磁场调控微波等离子体的发射光谱特性研究

张昊，王御睿，高登，张宇，黄戈豪，曹为，马志斌

《光学学报》

2024

新型KTN衬底上生长金刚石及其光催化性能研究

栾玉翰，李天蔚，王旭平，郝建新，赵洪阳，付秋明，陶洪，高登，马志斌

《金刚石与磨料磨具工程》

2023

ECR-MPCVD单晶金刚石外延生长研究

张通，王御睿，张昊，张宇，付秋明，赵洪阳，马志斌

《真空科学与技术学报》

2022

高等离子体功率密度下MPCVD法制备多晶金刚石膜

何中文，马志斌

《金刚石与磨料磨具工程》

2022

MPCVD二维扩大生长单晶金刚石

高登，马志斌

《真空科学与技术学报》

2021

MPCVD金刚石的制备与应用研究进展

马志斌

《金刚石与磨料磨具工程》

2021

钨表面激光处理对金刚石膜附着力的影响

黄逸豪，马志斌

《金刚石与磨料磨具工程》

DOI

2021

单晶金刚石侧向扩大生长中基团分布的调控

曹为，高登，付秋明，赵洪阳，马志斌

《光学学报》

2020

双路微波耦合反应腔的等离子体发射光谱分析

李方辉，何中文，曹为，赵洪阳，付秋明，许传波，马志斌

《光谱学与光谱分析》

2020

ECR微波等离子体对单晶金刚石表面的碳纳米墙修饰

衡凡，廖学红，曹为，付秋明，许传波，赵洪阳，马志斌

《金刚石与磨料磨具工程》

DOI

2018

MPCVD法中氮气对单晶金刚石生长机理影响的探究

夏禹豪，耿传文，衡凡，李方辉，马志斌

《真空科学与技术学报》

2018

浅谈工业等离子体原理理论教学与实践结合的重要性

赵洪阳，付秋明，陶洪，马志斌

《科教导刊》

2018

低浓度氮气对单晶金刚石生长质量的影响

耿传文，马志斌，夏禹豪，李艳春，衡凡

《真空科学与技术学报》

2018

MPCVD制备纳米金刚石真空窗口的研究

李艳春，马志斌，耿传文，夏禹豪，李方辉，衡凡

《真空科学与技术学报》

2017

MPCVD法同质外延生长单晶金刚石

严垒，马志斌，陈林，付秋明，吴超，高攀

《新型炭材料(中英文)》

2017

双侧波导同轴线耦合式线形微波等离子体源的研究

张田田，马志斌，黄宏伟，王传新，付秋明，汪建华

《真空科学与技术学报》

2017

MPCVD中双基片结构对等离子体的影响研究

丁康俊，马志斌，黄宏伟，宋修曦，任昱霖

《真空科学与技术学报》

2017

晶面取向对同质外延单晶金刚石生长的影响

宋修曦，马志斌，丁康俊，陈建丽，耿鹏

《真空科学与技术学报》

2016

基于波导耦合反应腔串联的线形微波等离子体源

张田田，马志斌，黄宏伟，王传新，付秋明，汪建华

《真空科学与技术学报》

2016

热丝CVD沉积金刚石薄膜时的等离子体空间分布研究

易成，王传新，范咏志，代凯，马志斌，王升高，满卫东，吴超

《光谱学与光谱分析》

2016

(111)晶面同质外延生长单晶金刚石的研究

吴超，马志斌，高攀，黄宏伟，宋修曦，付秋明，王传新

《真空科学与技术学报》

2015

杆状氧化铍表面金刚石薄膜的生长

张田田，李国伟，王传新，付秋明，黄宏伟，马志斌

《真空科学与技术学报》

2015

ECR等离子体刻蚀增强机械抛光CVD金刚石

潘鑫，马志斌，高攀，李国伟，曹为

《真空科学与技术学报》

2015

惰性气体对HFCVD沉积金刚石气相基团的影响

范咏志，王传新，易成，代凯，马志斌，王升高，吴超

《强激光与粒子束》

2014

氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的影响机理

潘鑫，马志斌，李国伟，曹为，王传新，付秋明

《强激光与粒子束》

2013

MPCVD等离子体中甲烷体积分数对基团分布的影响

李国伟，曹为，吴建鹏，陶利平，马志斌

《光学学报》

2013

MPCVD等离子体的发射光谱研究

马志斌，吴建鹏，陶利平，曹为，李国伟，汪建华

《光谱学与光谱分析》

2013

MP-CVD中CH4浓度对CH4/H2等离子体中基团的影响

曹为，李国伟，吴建鹏，马志斌

《光电子·激光》

DOI

2013

激光轴向偏焦法平整化CVD金刚石膜

严垒，马志斌，张璋，邓煜恒，王兴立

《强激光与粒子束》

2013

ECR等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究

潘鑫，马志斌，吴俊

《金刚石与磨料磨具工程》

2012

微波等离子体化学气相沉积金刚石光谱分析

马志斌，陶利平，翁国峰，严垒

《武汉工程大学学报》

2012

氧回旋离子束刻蚀化学气相沉积金刚石膜

吴俊，马志斌，沈武林

《强激光与粒子束》

2012

氢等离子体处理金刚石成核面

马志斌，吴建鹏，湛玉龙，曹为，李国伟，潘鑫

《武汉工程大学学报》

2012

电极环对离子加热温度的影响

沈武林，马志斌，谭必松，吴俊，汪建华

《核聚变与等离子体物理》

2011

ECR等离子体的磁电加热研究

沈武林，马志斌，谭必松，吴俊，汪建华

《物理学报》

2011

溴甲烷的等离子体发射光谱测量

翁国峰，马志斌

《强激光与粒子束》

2010

溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体

万军，马志斌，曹宏，吴振辉，汪建华

《新型炭材料(中英文)》

2010

磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响

沈武林，马志斌，谭必松

《武汉工程大学学报》

2010

非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜

谭必松，马志斌，沈武林，吴振辉

《强激光与粒子束》

2010

高气压微波氢等离子体发射光谱诊断

吴利峰，马志斌，翁国锋，湛玉龙

《强激光与粒子束》

2009

多功能微波等离子体教学研究装置的研制

张磊，侯想，胥明，夏明荣，马志斌

《大学物理》

2009

低气压直流辉光等离子体实验装置

龙珏，吴振辉，周旋，夏明荣，马志斌

《大学物理实验》

2009

微波ECR氧等离子体参数测量

谭必松，马志斌，吴振辉

《武汉工程大学学报》

2009

氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜

吴振辉，马志斌，谭必松，郑先锋，汪建华

《武汉工程大学学报》

2008

常压微波等离子体射流实验装置

谌康，何艾华，夏民荣，马志斌

《大学物理实验》

2008

新型大面积圆筒状等离子体源制备金刚石膜

张磊，马志斌，吴振辉，吴利峰

《硬质合金》

2007

直流辉光氧等离子体刻蚀金刚石膜的研究

郑先锋，马志斌，张磊，王传新，满卫东，汪建华

《金刚石与磨料磨具工程》

2006

氮化碳晶体的研究进展

马志斌

《新型炭材料(中英文)》

2006

氢等离子体在铁催石墨化作用下对CVD金刚石膜的刻蚀

满卫东，汪建华，王传新，马志斌，王升高，张宝华

《金刚石与磨料磨具工程》

2006

脉冲电弧等离子体处理含对硝基苯酚废水

毛家龙，马志斌

《武汉工程大学学报》

2005

在CH4-H2微波等离子体中添加H2O对大面积金刚石膜生长的研究

满卫东，汪建华，王传新，马志斌，王升高，刘远勇

《金刚石与磨料磨具工程》

2005

金刚石薄膜生长速度研究

王传新，汪建华，满卫东，马志斌，王升高，傅朝坤，李克林，康志成

《功能材料与器件学报》

2005

氮化碳晶体的合成

马志斌

《新型炭材料(中英文)》

2005

等离子体技术在提高硬质合金工具上金刚石薄膜附着力方面的应用

王传新，汪建华，马志斌，满卫东，王升高

《金刚石与磨料磨具工程》

2004

W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC-6%Co上的附着力的影响

王传新，汪建华，满卫东，马志斌，王升高，康志成

《高压物理学报》

2004

脉冲电弧放电电离甲醇/氨水溶液合成结晶氮化碳薄膜

马志斌，万军，黄杨风，汪建华

《新型炭材料(中英文)》

2003

微波等离子体化学气相沉积法低温制备直纳米碳管膜

王升高，汪建华，张保华，王传新，马志斌，满卫东

《无机化学学报》

2003

金刚石薄膜负偏压形核的边缘效应

王传新，汪建华，马志斌，满卫东，王升高，康志成

《高压物理学报》

2003

微波等离子体化学气相沉积——一种制备金刚石膜的理想方法

满卫东，汪建华，马志斌，王传新

《真空与低温》

2002

金刚石薄膜的性质、制备及应用

满卫东，汪建华，王传新，马志斌

《新型炭材料(中英文)》

2000

铜上采用镍过渡层化学气相沉积金刚石薄膜的研究

马志斌，邬钦崇，汪建华，王传新，黎向锋

《无机材料学报》

2000

Microstructure of SiOx:H Films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

Zhibin Ma, Xian-Bo Liao, Guang-Lin Kong, Jun-Hao Chu

DOI

精选作品

期刊论文

基于双参数调控等离子体策略制备金刚石的光谱研究

金刚石NV色心量子传感器的制备及其在电力系统中的应用（特邀）

基于磁场调控微波等离子体的发射光谱特性研究

新型KTN衬底上生长金刚石及其光催化性能研究

ECR-MPCVD单晶金刚石外延生长研究

高等离子体功率密度下MPCVD法制备多晶金刚石膜

MPCVD二维扩大生长单晶金刚石

MPCVD金刚石的制备与应用研究进展

钨表面激光处理对金刚石膜附着力的影响

单晶金刚石侧向扩大生长中基团分布的调控

双路微波耦合反应腔的等离子体发射光谱分析

ECR微波等离子体对单晶金刚石表面的碳纳米墙修饰

MPCVD法中氮气对单晶金刚石生长机理影响的探究

浅谈工业等离子体原理理论教学与实践结合的重要性

低浓度氮气对单晶金刚石生长质量的影响

MPCVD制备纳米金刚石真空窗口的研究

MPCVD法同质外延生长单晶金刚石

双侧波导同轴线耦合式线形微波等离子体源的研究

MPCVD中双基片结构对等离子体的影响研究

晶面取向对同质外延单晶金刚石生长的影响

基于波导耦合反应腔串联的线形微波等离子体源

热丝CVD沉积金刚石薄膜时的等离子体空间分布研究

(111)晶面同质外延生长单晶金刚石的研究

杆状氧化铍表面金刚石薄膜的生长

ECR等离子体刻蚀增强机械抛光CVD金刚石

惰性气体对HFCVD沉积金刚石气相基团的影响

氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的影响机理

MPCVD等离子体中甲烷体积分数对基团分布的影响

MPCVD等离子体的发射光谱研究

MP-CVD中CH4浓度对CH4/H2等离子体中基团的影响

激光轴向偏焦法平整化CVD金刚石膜

ECR等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究

微波等离子体化学气相沉积金刚石光谱分析

氧回旋离子束刻蚀化学气相沉积金刚石膜

氢等离子体处理金刚石成核面

电极环对离子加热温度的影响

ECR等离子体的磁电加热研究

溴甲烷的等离子体发射光谱测量

溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体

磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响

非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜

高气压微波氢等离子体发射光谱诊断

多功能微波等离子体教学研究装置的研制

低气压直流辉光等离子体实验装置

微波ECR氧等离子体参数测量

氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜

常压微波等离子体射流实验装置

新型大面积圆筒状等离子体源制备金刚石膜

直流辉光氧等离子体刻蚀金刚石膜的研究

氮化碳晶体的研究进展

氢等离子体在铁催石墨化作用下对CVD金刚石膜的刻蚀

脉冲电弧等离子体处理含对硝基苯酚废水

在CH4-H2微波等离子体中添加H2O对大面积金刚石膜生长的研究

金刚石薄膜生长速度研究

氮化碳晶体的合成

等离子体技术在提高硬质合金工具上金刚石薄膜附着力方面的应用

W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC-6%Co上的附着力的影响

脉冲电弧放电电离甲醇/氨水溶液合成结晶氮化碳薄膜

微波等离子体化学气相沉积法低温制备直纳米碳管膜

金刚石薄膜负偏压形核的边缘效应

微波等离子体化学气相沉积——一种制备金刚石膜的理想方法

金刚石薄膜的性质、制备及应用

铜上采用镍过渡层化学气相沉积金刚石薄膜的研究

Microstructure of SiOx:H Films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

会议论文

发射光谱法在MPCVD沉积金刚石中的应用

ECR氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜

高压微波氢等离子体Balmer线系的实验

高气压CVD化学气相沉积金刚石膜的发射光谱研究

ECR等离子体中离子的磁电加热研究

Mo对MPCVD金刚石厚膜内应力及sp 2 C含量的影响

非对称磁镜场ECR氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜

发射光谱Stark展宽法同时测量高气压放电氢等离子体的电子密度和电场强度

研究方向